無塵室主要是由下列各項系統(tǒng)所組成的
瀏覽次數(shù)：3019發(fā)布日期：2022-03-15
無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
無塵室構(gòu)成：
無塵室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成，在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室：
1、天花板系統(tǒng)：包括吊桿、綱)、天花板格子梁；
2、空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等；
3、隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門；
4、地板：包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面；
5、照明器具：包括日光燈、黃色燈管等；
6、無塵室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：
?、?、不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；
?、?、不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；
③、吸濕性??；
?、?、為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。
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